無塵車間工程是為了實(shí)現(xiàn)空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過濾器進(jìn)入到潔凈室,在無塵室兩側(cè)安裝隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流因非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于無塵生產(chǎn)車間等級(jí)為1000-100000級(jí)的。
優(yōu)點(diǎn):無塵車間工程構(gòu)造簡(jiǎn)單、系統(tǒng)建造成本也較低,因此在潔凈室的擴(kuò)充會(huì)比較容易,在某些特殊用途場(chǎng)所,可并用無塵工作臺(tái),來提高潔凈室等級(jí)。
缺點(diǎn):
無塵車間工程的亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出,易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再啟動(dòng),欲達(dá)需求之潔凈度,往往須耗時(shí)相當(dāng)長(zhǎng)一段時(shí)間。